微纳加工技术不仅对设备和加工条件要求很高，同时也对加工能力有着很高的要求，此外一些非常规的微纳器件加工长期被国外垄断，造成相关产业的发展一直受制于人。我们立足于打破国外技术封锁和实现国内技术创新，现有设备和加工条件可以满足 DOE类、GPOE类、ROE类、MLA类产品的定制需求。可根据客户需求并选用以上工艺路线加工出以下微纳器件：环形光整形器、涡旋波片、匀化器件、微透镜、激光扩散片、液晶元器件、超构表面等。

 

DOE 类定制产品概述

衍射光学元件（Diffractive Optical Elements, DOE）是一种基于光的衍射原理，通过微纳结构调控光波前相位和振幅的光学元件。其核心在于利用微米或亚微米级结构设计，实现光束整形、分束、聚焦等复杂功能。DOE通过微纳结构实现光波的精确操控，其设计融合了波动光学理论与计算优化算法，加工依赖高精度光刻与刻蚀技术。

 

主要应用场景

· 环形光整形器、点环光整形器、可调点环光整形器

· 螺旋相位板

· 板平顶光整形器、聚焦型平顶光整形器

· 衍射锥透镜

 

产品特点

依据客户需求，精准设计并制造用于光束整形、分束、聚焦等不同功能的元件，实现平顶、环形等光斑及阵列分束效果。在设计上，借助先进算法与模拟软件，充分考量波长、光束参数等，确保元件性能。加工时，运用光刻、刻蚀、纳米压印等技术，把控微米级至纳米级精度，满足从科研到工业生产多领域定制需求。